FIB Anwendungen mit Legierungs-Flüssigmetall-Ionenquellen

Die Erweiterung eines Fokussierten Ionenstrahles (FIB) mit einem Massenseparator (ExB Filter) wird vorgestellt, wodurch Legierungs-Flüssigmetallionenquellen eingesetzt werden können, die eine ganze Reihe von anderen Ionnarten als Gallium bereitstellen können. Die Herstellung solcher Quellen wird gezeigt und anhand ausgewählter Beispiele näher erläutert. Die Massenspektren sowie die Besonderheiten der Handhabung der Ionenoptik werden diskutiert. Anwendungsbeispiele, wie effektives Ionenzerstäuben (sputtern) durch schwere Ionen wie Gold, die Implantation von verschiedenen Spezies zur lokalen Änderung magnetischer oder elektrischer Eigenschaften sowie die Ionenstrahlsynthese von CoSi2 – Nanostrukturen unterstützen das wachsende Interesse an massenseparierten FIB Anlagen in Forschung und Industrie.