Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
Mändl, S.
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Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf; FZR-206
ISSN: 1436-3976
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