Die Benutzung eines modifizierten Simplex-Algorithmus zur Verfahrensoptimierung in der Mikroelektronik
Die Benutzung eines modifizierten Simplex-Algorithmus zur Verfahrensoptimierung in der Mikroelektronik
Maletti, R.
Abstract
Im Artikel werden Anwendungsmöglichkeiten eines Simplex-Verfahrens zur Prozessoptimierung bei der Herstellung mikroelektronischer Bauelemente gezeigt. Anhand ausgewählter Beispiele der Plasmaätztechnologie wird die Einsatzbreite für die optimale Versuchsplanung, die Bestimmung von Modellgrößen für Simulationsrechnungen und die Ermittlung von Parametern der in situ Prozesskontrolle angedeutet.
Keywords: Simplexmethode; Versuchsplanung; Optimierung; Simulation; Modellierung; Mikroelektronik; Sünnschichttechnik; Plasmaätzen; Substratgrabenätzen; Laserinterferometer; simplex-method; thin-f
- Wissenschaftliche Zeitschrift der Technischen Universität Dresden 37(1988)1, 279-282
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-11103
