Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Doping & Annealing Issues of Electronic Materials

Skorupa, W.

Keywords: ion implantation; annealing; boron; phosphorus; arsenic; nanowires; diluted material; light emitter

Beteiligte Forschungsanlagen

• Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159

Verknüpfte Publikationen

• DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 15038) publication

• Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
  SPIRIT Tutorial "Ion Implantation and Irradiation", 13.-14.12.2010, Dresden, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-15038