P1227 - Verfahren zur kostengünstigeren Herstellung von Silizium Solarzellen, und mit diesem Verfahren hergestellte Solarzellen
P1227 - Verfahren zur kostengünstigeren Herstellung von Silizium Solarzellen, und mit diesem Verfahren hergestellte Solarzellen
Prucnal, S.; Voelskow, M.; Skorupa, W.
Abstract
Die Erfindung beschreibt ein einfaches und vor allem kostengünstiges und damit umweltverträgliches Verfahren zur Herstellung von Solarzellen auf der Basis von Silizium, basierend auf einem einzigen, kurzen Millisekunden-Ausheilschritt unter Verwendung der effektiven Plasma-Immersions-Ion-Implantations-Technologie (PIII). Dadurch wird der Energie- und Zeitaufwand und damit die Kosten zur Herstellung einer Silizium-Solarzelle drastisch reduziert werden.
Beteiligte Forschungsanlagen
- Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159
Verknüpfte Publikationen
- DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 20452) publication
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Patent
DE102012221811 - Offenlegung 28.05.2014
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-20452