Tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Silizidbildung in Fe-ionenimplantiertem Si mittels DCEMS
Tiefenselektive Phasenanalyse der Fe-Silizidbildung in Fe-ionenimplantiertem Si mittels DCEMS
Kruijer, S.; Walterfang, M.; Keune, W.; Dobler, M.; Reuther, H.
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Vortrag (Konferenzbeitrag)
DPG-Frühjahrstagung, Regensburg, March 23-27, 1998
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2246