Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublikationPlasma immersion ion implantation for diffusive treatment
Möller, W.
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Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
PSE'98, Garmisch-Partenkirchen, Sept. 14 - 18, 1998 (invited lecture)
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2252