Effekte bei der Implantationsdotierung von Bor und Aluminium in 6H-SiC
Effekte bei der Implantationsdotierung von Bor und Aluminium in 6H-SiC
Wirth, H.
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Sonstiger Vortrag
Daimler-Benz-AG, FZ Frankfurt/M., Oct. 29, 1997
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2531