P1603 - Verfahren zur Herstellung von auf Silizium basierenden Anoden für Sekundärbatterien

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von auf Silizium basierenden Anoden für Sekundärbatterien, wobei die Sekundärbatterien zumindest aus der Anode, aus mindestens einem Elektrolyten und einer Gegenelektrode bestehen. Dabei werden folgende Schritte zur Herstellung einer Anode (20) durchgeführt:

– Abscheiden einer Silizium-Schicht (3) auf einem Korngrenzen (2) aufweisenden Metallsubstrat (1), wobei die Silizium-Schicht (3) zum Metallsubstrat (1) gerichtet eine erste Grenzfläche (14) aufweist,
– Beheizen des Metallsubstrats (1) mittels einer Heizeinheit (22) auf eine Temperatur zwischen 200°C und 1000°C,
– Tempern des Bereiches der dem Metallsubstrat (1) abgewandten zweiten Grenzfläche (15) der Silizium-Schicht (3) mittels einer energieintensiven Bestrahlung während der Beheizung,
– Erzeugen von Mehrphasen im Bereich der Silizium-Schicht (3) und des Metallsubstrats (1), bestehend aus amorphem Silizium und/oder kristallinem Silizium des Siliziums der Silizium-Schicht (3) und aus kristallinem Metall des Metallsubstrats (1) und aus Silizid und
– Erzeugen von kristallinem Metall des Metallsubstrats (1).