P1804 - Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung sämtlicher Komponenten eines Widerstandstensors von Dünnschichten

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung sämtlicher Komponenten eines Widerstandstensors von Dünnschichten, wie Dünnschichtwiderständen und Dünnschichtsensoren aller Art. Durch die Erfindung soll ein Verfahren zur kontinuierlichen Bestimmung sämtlicher Komponenten eines Widerstandstensors von Dünnschichten, wie Dünnschichtwiderständen und Dünnschichtsensoren aller Art, geschaffen werden, bei dem mit einer minimierten Anzahl von Kontakten eine kontinuierliche Bestimmung aller Komponenten des Widerstandstensors ohne Umschalten der Kontaktpunkte ermöglicht wird. Erreicht wird das dadurch, dass ein beliebig geformtes homogenes Teilstück (T) der Dünnschicht mit mindestens drei in Abständen zueinander angeordneten Kontaktpunkten (K₁ bis K₃) versehen wird, wobei an jedem der Kontaktpunkte (K₁ bis K₃) eine Eingangsspannung Uᵢ(t) angelegt wird, dass die die Kontaktpunkte (K₁ bis K₃) durchfließenden Ströme Iᵢ(t) erfasst werden und dass aus den Spannungs- und Stromwerten der vollständige Widerstandstensor p des Teilstücks (T) der Dünnschicht bestimmt wird.