Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
3 PublikationenMonte Carlo ion-implantation simulation for deep ULSI transistors
Feudel, T.; Strecker, N.; Krause, U.; Schmidt, B.; Posselt, M.
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Vortrag (Konferenzbeitrag)
Proc. 1999 Semiconductor TCAD Workshop, vol. 2, p. 7. 1, Hsinchu, Taiwan, May 1999 -
Vortrag (Konferenzbeitrag)
1999 Semiconductor TCAD Workshop, Hsinchu, Taiwan, May 4-6,1999 -
Beitrag zu Proceedings
Proc. 1999 Semiconductor TCAD Workshop, vol. 2, p. 7. 1, Hsinchu, Taiwan, May 1999
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