Entwicklung eines Justierdetektors für Elektronenstrahlanlagen
Entwicklung eines Justierdetektors für Elektronenstrahlanlagen
von Borany, J.; Beyer, V.
Abstract
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Keywords: Justierdetektor; MeV-Ionenimplantation; Elektronenstrahl-Lithografie; Si-Technologie
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Bericht, sonstiger
Abschlußbericht zum BMBF/Leica Projekt "JD-50", Oktober 2001
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4643