Blitzlampen-Temperung im msec-Bereich für die SiC-Si-Heteroepitaxie

Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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Skorupa, W.

Abstract

Das Verfahren zur Blitzlampen-Temperung im msec-Bereich für die SiC-Si-Heteroepitaxie wird vorgestellt.

Keywords: flash lamp annealing; silicon; silicon carbide; heteroepitaxy

Sonstiger Vortrag
Vortrag, Institut für Angewandte Physik, Universität Erlangen-Nürnberg, 11.11.2004, Erlangen, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9941