Nanostrukturen

Der Begriff “Nanostrukturen” wird definiert und anhand von Beispielen erläutert. Speziell eingegangen wird auf Methoden der Herstellung von Nanostrukturen wie Nanodrähten und Nanocluster mit dem Fokussierten Ionenstrahl (FIB), die im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf praktiziert werden. Die Ionenstrahlsynthese von CoSi2 Nanostrukturen wird präsentiert und erläutert. Weiterin wird die 3D Nanostrukturherstellung mittels FIB Implantation und anschließender anisotroper naßchemischer Ätzung gezeigt und an Beispielen demonstriert.