Optimierung optischer und mechnischer Eigenschaften magnetrongesputterter Niobpentoxidschichten

Vinnichenko, M.; Rogozin, A.; Kolitsch, A.; Grambole, D.; Möller, W.; Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Chuvilin, A.; Kaiser, U.

Optimierung optischer und mechnischer Eigenschaften magnetrongesputterter Niobpentoxidschichten

Vinnichenko, M.; Rogozin, A.; Kolitsch, A.; Grambole, D.; Möller, W.; Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Chuvilin, A.; Kaiser, U.

Abstract

Using high plasma ion density influence during the reactive pulsed magnetron sputtering allowed formation of the dense amorphous Nb2O5 layers with controlled nano-porosity for optical applications. The films possess unique combination of high refractive index (n> 2.5 at wavelength 400 nm), low optical extinction (k<5x10^-4 at 400 nm), low mechanical stress and negligible thermal shift.

Keywords: optical coatings; Nb2O5; nano-sized porosity; optical properties; reactive pulsed magnetron sputtering

Vortrag (Konferenzbeitrag)
OptoNet Workshop: Funktionale Oberflächen für optische Anwendungen, 12.11.2008, Jena, Germany

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-12095