Winkel- und Energieverteilung bei Magnetron Sputtern

Winkel- und Energieverteilung bei Magnetron Sputtern

Neidhardt, J.; Möller, W.

Abstract

kein Abstract verfügbar

  • Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
    Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik – Grundlagen und Anwendung, 25.11.2009, Dresden, Deutschland
  • Beitrag zu Proceedings
    Analytische Massenspektrometrie in der Oberflächentechnik – Grundlagen und Anwendung, 25.11.2009, Dresden, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-13444