Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

1 Publikation

Doping Issues of Si Nanowires

Skorupa, W.

Abstract

A review of recent work published in:

ADVANCED MATERIALS Volume: 22 Issue: 36 Pages: 4020-4024,
NANO LETTERS Volume: 10 Issue: 1 Pages: 171-175,

Keywords: Doping; ion implantation; scanning spreading resistance profiling; silicon nanowire

Beteiligte Forschungsanlagen

Verknüpfte Publikationen

  • Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
    27.Deutsches Nutzertreffen RTP und Heissprozesse, 05.05.2010, Erlangen, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-14894