Ionenenergieverteilung während der ZnO-Abscheidung durch Magnetronsputtern: keramisches vs. metallisches Target
Ionenenergieverteilung während der ZnO-Abscheidung durch Magnetronsputtern: keramisches vs. metallisches Target
Wilde, C.
Abstract
ad hoc short-notice report. No abstract was necassary
Keywords: ion energy distribution; sputtering; magnetron; mass spectrometry; TCO; AZO
Beteiligte Forschungsanlagen
- Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159
Verknüpfte Publikationen
- DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 16351) publication
-
Vortrag (Konferenzbeitrag)
Transparente leitfähige Oxide - Festkörperphysikalische Grundlagen und Technologie, 16.-17.05.2011, Dresden, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-16351
