Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Die Erfindung beschreibt eine Anordnung zur Erzeugung ultrakurzer und kurzwelliger Lichtpulse mit Hilfe des Thomson-wave-scattering-Verfahrens, wobei dispersive Elemente zwischen einer Elektronen-, Teilchen- oder Strahlenquelle, die mit einem Lasersystem synchronisiert ist, und einem in einer Richtung fokussierendem optischen Element angeordnet sind und die Verwendung dieser Anordnung zur Überlagerung eines pulsfrontverkippten Lichtpulses hoher Leistung mit einem ultrakurzen Puls relativistischer Elektronen in einem Laserlinienfokus. Durch die Variierung der Laserpulsfrontverkippung erhält man schmalbandige Strahlungspulse hoher Photonenzahl in einem breiten Wellenlängenbereich von EUV bis zu Röntgenwellenlängen und kann zudem die Bandbreite und Kohärenzeigenschaften anpassen. Diese Anordnung kann u. a. bei der EUV-Lithographie, bei der Planung und optimalen Auslegung von Lasersystem und Elektronenquelle, bei der Materialanalyse mittels Phasen-Kontrast-Bildgebung (phase constrast imaging), der Supraleiterforschung verwendet werden. Die vorgeschlagene Anordnung ist kleiner und kostengünstiger als vergleichbare heutige Anordnungen realisierbar.