Dialyseverfahren zum Recycling von Gallium

Der Aufsatz beleuchtet die Anwendung von Dialyseverfahren am Beispiel eines Projektes zur Trennung von Gallium und Arsen aus verbrauchten Beizlösungen der GaAs-Waferproduktion. Der Einsatz von Diffusions- und Elektrodialyse kann durch geringere Chemikalienverbräuche sowie einen einfacheren Aufbau deutliche Vorteile gegenüber Fällungs- und Extraktionsverfahren besitzen und auf diese Weise bisher nicht ökonomisch schließbare Stoffstromketten schließen.
Während Dialyseverfahren zur Laugenregeneration, Metallrückgewinnung oder Säurerückgewinnung in der Galvanotechnik bereits seit Jahren etabliert sind und sich ständig weiter entwickeln [1], sind aus der Halbleiterindustrie kaum Anwendungsfälle bekannt. In Folge der Verknappung von Seltenen Metallen und der Debatte zur Ressourceneffizienz besteht hier ein Forschungs- und Handlungsbedarf.