Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Ion beam synthesis by tungsten implantation into 6H-silicon carbide at elevated temperatures

Weishart, H.; Matz, W.; Skorupa, W.

Beteiligte Forschungsanlagen

• Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159

Verknüpfte Publikationen

• DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 20419) publication

• Beitrag zu Proceedings
  1995 MRS Fall Meeting & Exhibit, 27.11.-1.12.1995, Massachusetts, USA
  MRS Symposium Proceedings Series: III-Nitride, SiC, and Diamond Materials for Electronic Devices: Cambridge University Press, 9781558993266, 195-200

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-20419