Morphology and Microstructure of Si-SiO₂ Nanocomposite Layers

Morphology and Microstructure of Si-SiO₂ Nanocomposite Layers

Hübner, R.

Beteiligte Forschungsanlagen

• Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159

Verknüpfte Publikationen

• DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 21790) publication

• Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
  EFDS-Workshop "Morphologie und Mikrostruktur dünner Schichten und deren Beeinflussung", 12.03.2015, Dresden, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-21790