Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Nanopatterning of thin CoSi₂ layers by local oxidation

Kappius, L.; Antons, A.; Dolle, M.; Trinkaus, H.; Mesters, S.; Bochem, H.-P.; Mantl, S.; Heinig, K.-H.

• Vortrag (Konferenzbeitrag)
  Spring Meeting, San Francisco, CA, USA, April 13-17, 1998

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2238