Physik und Anwendungen der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Physik und Anwendungen der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Möller, W.

• Eingeladener Vortrag (Konferenzbeitrag)
  VDE/ITG-Seminar "Teilchenstrahl- und Plasmatechnik", Helmsdorf b. Dresden, March 7, 1997 (invited lecture)
• Sonstiger Vortrag
  Elektrotechnisches Kolloquium der Univ. Stuttgart, Jan. 23, 1997

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2427