Implantation experiments to check the Plasma Immersion Ion Implantation quality
Implantation experiments to check the Plasma Immersion Ion Implantation quality
Yankov, R.; Julin, J. A.; Munnik, F.; Skorupa, W.
Abstract
Projekttreffen-relevanter Vortrag zur ERDA-Untersuchung von Fluor in Nickel-basierten Legierungen nach Plasma-Immersions-Implantation
Keywords: ERDA-Untersuchung; Fluor; Nickel-basierte Legierungen; Plasma-Immersions-Implantation
Beteiligte Forschungsanlagen
- Ionenstrahlzentrum DOI: 10.17815/jlsrf-3-159
Verknüpfte Publikationen
- DOI: 10.17815/jlsrf-3-159 is cited by this (Id 30326) publication
-
Sonstiger Vortrag
Projektausschußsitzung "Nickelbasierte Legierungen", 04.06.2019, Braunschweig, Deutschland
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-30326
