P1805 - Transparenter Objektträger

Die Erfindung betrifft einen transparenten Objektträger. Die Aufgabe der Erfindung einen Objektträger anzugeben, an dem die Reichweite sowie die Stärke der oberflächennahen, elektrostatischen Kräfte, während eines Herstellungsprozesses des Objektträgers zu beeinflussen und einzustellen sind, wird durch einen transparenten Objektträger gelöst, welcher eine aufnahmeseitige Oberfläche und eine von der Aufnahmeseite abgewandte, also rückseitige Oberfläche ausweist und mindestens drei Schichten umfasst: eine elektrisch isolierende erste Schicht, eine auf der ersten Schicht angeordnete siliziumhaltige zweite Schicht sowie eine auf der zweiten Schicht angeordnete elektrisch isolierende dritte Schicht, wobei sich jeweils eine Grenzfläche zwischen der ersten und zweiten Schicht sowie zwischen der zweiten und dritten Schicht ausbildet, wobei die Grenzfläche zwischen der ersten und zweiten Schicht eine erste Flächenladungsdichte aufweist und die Grenzfläche zwischen der zweiten und dritten Schicht eine zweite Flächenladungsdichte aufweist, wobei die erste und zweite Flächenladungsdichte gleiche oder unterschiedliche Vorzeichen aufweisen und der Objektträger oberflächennahe, elektrostatischen Kräfte auf beiden Oberflächenseiten aufweist, deren Reichweite sowie Stärke während des Herstellungsprozesses zu beeinflussen und einzustellen sind.