Synthese und Bearbeitung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen
Synthese und Bearbeitung von Nanostrukturen mit Ionenstrahlen
Heinig, K.-H.
Abstract
Unter Ionenbestrahlung laufen in der Festkörperoberfläche Prozesse weitab vom thermodynamischen Gleichgewicht ab. Übliche Prozeßabläufe können umgekehrt werden (z. B. inverses Ostwaldreifen), und geordnete Strukturen können sich ausbilden (z. B. wave-ordered-structures). Im Vortrag werden hierzu experimentelle und theoretische Untersuchungen vorgestellt. Es wird u. a. gezeigt, wie Nanocluster in Ordnungszustände gebracht werden können, die für mikroelektronische und mikrooptsche Anwendungen hochinteressant sind.
Keywords: Ionenstrahlsynthese; Nanocluster; Computersimulation; Thermodynamik
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Sonstiger Vortrag
Friedrich-Schiller Universität Jena, Physikalisch-Astronomische Fakultät, Vortrag am 17. 11. 2000
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-3679