Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

Electrochemical Etch Stop Behaviour on Ion Implanted Silicon pn-Junctions

Schmidt, B.

• Vortrag (Konferenzbeitrag)
  Micro System Technologies Russia, 21.-24 Juni 1993, St. Petersburg

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-43