Implantationsdotierung von Diamantschichten für Mikrosystem-Anwendungen

Implantationsdotierung von Diamantschichten für Mikrosystem-Anwendungen

von Borany, J.; Fontaine, F.; Heera, V.

Abstract

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Keywords: Diamant; Dotierung; Ionenimplantation

Bericht, sonstiger
Abschlußbericht zum BMBF-Projekt 16SV 548/2, Juni 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4641