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Industrielles Anwendungspotential der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

Richter, E.

Abstract

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Keywords: Plasma-Immersions-Implantation; Industrielle Anwendungen

Lecture (others)
Innovationsforum "Neuartige Applikationsfelder für plasmagestützte Oberflächentechnik, Zittau, 5.-6. April 2001

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-4859