Investigation of gettering effects in CZ-type Silicon with SIMS

Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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1 Publikation

Krecar, D.; Fuchs, M.; Kögler, R.; Hutter, H.

Abstract

Gettering effects in CZ-type Silicon are investigated with SIMS

Keywords: gettering; SIMS; Si; defects

Vortrag (Konferenzbeitrag)
13th Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA), 14.-17.10.2004, Dresden, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9910