Ion Beam Synthesis and Patterning by FIB

Bischoff, L.; Schmidt, B.; Akhmadaliev, Ch.

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Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

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Ion Beam Synthesis and Patterning by FIB

Bischoff, L.; Schmidt, B.; Akhmadaliev, C.

Abstract

Die Ionenstrahlsynthese mittels Fokussierten Ionenstrahl (FIB) wird am Beispiel des Kobalt-Disilizides erläutert und demonstriert sowie Anwendungen aufgezeigt.
Weitere FIB Applikationen im Bereich der Nano-Technologie, wie das Vorstrukturieren (Templating), die Ga-Implantation und das selektive anisitrope nasschemiche Ätzen als auch die Metallorganische CVD mit dem FIB werden diskutiert.

Keywords: FIB; Ionenstrahlsysnthese; Nanostrukturen

Vortrag (Konferenzbeitrag)
RUBion Workshop: Ionenstrahlen und Nanotechnologie, 10.-11.05.2007, Bochum, Deutschland

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9956